• DE
  • /
  • EN
  • Über G&N
  • Produkte & Lösungen
  • Resale
  • Service
  • Jobs
  • Kontakt
  • Messen & Termine

MPS R400GGP
Seitenuntertitel steht hier, wenn vorhanden

  • Startseite→
  • Produkte & Lösungen→
  • Halbleiter→
  • MPS R400GGP
  • Drucken
  • -
  • DE
  • /
  • EN
  • Metall
  • Metallografie
  • Dünnschliffe
  • Betonproben
  • Halbleiter
    • TPP
    • MPS RC Vakuum
    • MPS 2 R300 CV
    • MPS 2 R300DCS
    • MPS R400DS
    • MPS R400GGP
    • IFG 320
  • Photovoltaik
  • Innenlochsäge

MPS R400GGP mit Schleif- und Polierspindel

Produktanfrage

Die MPS R400-Serie ist unter Anwendung neuester Erkenntnisse der Schleiftechnologie sowie Ergonomie entwickelt worden. Der vollständig abgeschlossene Schleifbereich garantiert optimale Arbeitsbedingungen für das Bedienungspersonal und vermindert die Gefahr von Verschmutzungen. Diese neue Ausführung ist sowohl mit einer Schleifspindel als auch einer Polierspindel ausgerüstet

Einsatzgebiete und Ausstattung

Das Haupteinsatzgebiet ist das Schleifen und Polieren von Silizium- und GaAs-Wafern im Bereich von 50 bis 200 mm Durchmesser.

  • Geschlossener Arbeitsbereich
  • TWIN SPINDEL mit Diamantschleifscheiben
  • Automatischer Wechsel Schleifen/Polieren
  • Temperaturgesteuerter Polierprozess
  • SPS - Steuerung S7-1500
  • In- Prozess-Messung
  • Automatische Schleif/Polierprogramme
  • Vakuumspanntische
  • minimale TTV-Werte
  • gleichmässige Ergebnisse

Eigenschaften

Der vollständig abgeschlossene Schleifbereich garantiert optimale Arbeitsbedingungen und vermindert die Gefahr von Verschmutzungen.

Die automatische Feinzustellung erfolgt über die elektronische Ansteuerung eines 4-Phasen-Schrittmotors mit stufenlos regelbarer Geschwindigkeit.

Die Messsteuerung (Sonderausstattung) garantiert geringste Massstreuung durch den Ausgleich von Schleif-scheibenverschleiss und thermischen Einflüssen.

MPS R400GGP
Schleif- und Polierkopf
Infeed grinding & polishing
Batch grinding & polishing

Technische Daten

Antrieb 3,7 kW
Schleifspindeldrehzahl 2850 min-1
E-Anschluss 5,5 kW
Präzision 2 µm
Schleifscheibe Diamant 200 x 34 x 76 mm
Rundtisch 400 mm
Rundtischdrehzahl 0-30 min-1
Vakuum Chucks Poröskeramik; Anzahl grössenabhängig
Polierscheibe 200 mm; Polierpad leicht auswechselbar
Poliermedium

Slurry

Feinzustellung
Bereich 170 mm
min. Schritt 1 µm
Abmessungen/Gewicht
Abmessungen Maschine 1150 kg
Gewicht ca. 1550 x 1130 mm

Navigation

  • Kontakt
  • Sitemap
  • Impressum
  • Datenschutz
  • AGB

Kontaktdaten

G&N Genauigkeits Maschinenbau Nürnberg GmbH
Wetterkreuz 35
91058 Erlangen
+49 9131 75760
 info‎@‎grinders.de

Copyright © 2019 G&N Genauigkeits Maschinenbau Nürnberg GmbH