MPS R400 CVP
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MPS R400CVP Präzisions-Flachschleifmaschine für Schleifen und Polieren
Die MPS R400-Serie ist unter Anwendung neuester Erkenntnisse der Schleiftechnologie sowie Ergonomie entwickelt worden. Der vollständig abgeschlossene Schleifbereich garantiert optimale Arbeitsbedingungen für das Bedienungspersonal und vermindert die Gefahr von Verschmutzungen. Diese neue Ausführung ist sowohl mit einer Schleifspindel als auch einer Polierspindel ausgerüstet
Einsatzgebiet
Schleifen und Polieren von Halbleitermaterial in einem Arbeitsgang
Ausstattung
- Geschlossener Arbeitsbereich
- TWIN SPINDEL mit Diamantschleifscheiben
- Automatischer Wechsel Schleifen/Polieren
- SPS - Steuerung S7-1200
- Automatische Schleif/Polierprogramme
- Vakuumspanntische
- minimale TTV-Werte
- gleichmässige Schleif-Ergebnisse
MPS R400CVP
Schleif- und Polierkopf
Wafer
Technische Daten
| Antriebsmotor | 3,7 kW |
| Spindeldrehzahlbei 50 Hz | 2850 min-1 |
| Anschlussleistung | 8,4 kVA |
| Präzision | 2 µm |
| Rundtisch | |
| Durchmesser | ø 400 mm |
| Drehzahl | 2-30 min-1 |
| Twin-Schleifscheibe | ø 220 mm |
| Vakuum Chucks | Poröskeramik; Anzahl grössenabhängig |
| Polierscheibe | 200 mm; Polierpad leicht auswechselbar |
| Poliermedium | test/flüssig (Slurry) Sprühdüse |
| Gewicht | 1130 kg |
| Abmessungen Maschine | ca. 1640 x 1210 mm |