TPP Poliermaschine
Manuelle Poliermaschine für Halbleitermaterial, geeignet für Wafer bis zu 6" Durchmesser.
Ausstattung
- Drehstrommotor mit verbesserter Rundlaufgenauigkeit
- Stufenlose Drehzahlregelung des Poliertellers
- Vakuumsystem
- Zentriermutter für schnellen Polierpadwechsel
- Slurryzuführung
- Waferzentrierung über Rollensystem
- Rotierende Polierchucks
Abbildungen
- TPP Poliermaschine
- Detailansicht
Technische Daten
| Polierteller | Ø 360 mm |
| Polierpad | Ø 350 mm |
| Polierdrehzahl | 50 - 350 min-1 |
| Motor | 0,55 kW |
| Lärmpegel | < 67 dB(A) |
| Platzbedarf | 1200 X 542 mm |
| Gewicht netto | 123 kg |