MPS RC Vakuum
Präzisions-Flachschleifmaschine zum einfachen und schnellen Schleifen von Siliziumwafern
Einsatzgebiete
Die MPS RC Vakuum ist vorgesehen für das kostengünstige Schleifen von Siliziumwafern bis zu einem Durchmesser von 8" bei einer Genauigkeit von < 5µm TTV
Eigenschaften
Waferschleifmaschine mit vertikaler Spindel und Diamanttopfschleifscheibe; Motorschleifspindel 3,3 kW; hochpräzise Feinzustellung mit 2-Phasen-Schrittmotor und frei programmierbarer Zustellgeschwindigkeit; minimaler Zustellschritt 1µm; Rundtischdrehzahl ist zwischen 2 und 30 min-1 stufenlos einstellbar;
Abbildungen
- MPS RC Vakuum
- Schleifraum
Zubehör
Die Maschine wird serienmäßig geliefert mit:
- Diamantschleifscheibe
- Rundtisch
- Automatische Feinzustellung
- Programmierbare Schleifzyklen
- Nassschleifeinrichtung
- Geschlossener Schleifraum
- Speicherbare Programme
Technische Daten
| Antriebsmotor | 3,3 kW |
| Spindeldrehzahl | 2850 min-1 |
| Elektroanschluss | 4 kW |
| Ebenheit Tisch | 5 µm |
| Schleifscheibe | |
| Diamant | ø175 x 34 mm |
| Rundtisch | ø300 mm |
| Rundtischdrehzahl | 2 - 30 min-1 |
| Anzahl Chucks | 2"(18), 3"(8), 4"(5). 5"(3), 6" (2), (" (1) |
| Feinzustellung | |
| Zustellbereich | 300 mm |
| Min. Zustellschritt | 5 µm |
| Platzbedarf (l x b) | 850 x 700 mm |
| Gewicht | 350 kg |