MPS R700S Präzisions-Rundtisch-Flachschleifmaschine
Präzisions-Rundtisch-Flachschleifmaschine mit hydrostatisch gelagertem Rundtisch für höchste Planlaufgenauigkeit und nahezu unbegrenzte Lebensdauer.
Das Positionieren beweglicher Maschinenteile wird durch Anordnung und Abmessungen der Schleifscheibe überflüssig - somit reduzieren sich unproduktive Nebenzeiten auf ein Minimum.
Einsatzgebiete
Durch die automatische Feinzustellung und Programmsteuerung ist die MPS R700S für grosse Stückzahlen und für das Rückseitenschleifen sehr dünner Wafer besonders geeignet.
Alle Halbleiterwerkstoffe, Ferrit, Quarz, Hartmetalle, Carbide, Oxid-und Piezokeramiken lassen sich mit der MPS R700S präzise, schonend und schnell bearbeiten.
Abbildungen
- Chucks >Abbildung Maschine fehlt!<
Zubehör
Die MPS R700S lässt sich durch entsprechendes Zubehör für jeden Einsatzzweck optimal anpassen- selbstverständlich auch nachträglich, wenn andere Materialien als ursprünglich vorgesehen bearbeitet werden müssen.
Technische Daten
| Antrieb | 7,5 kW |
| Schleifspindeldrehzahl | 2850 min-1 |
| E-Anschluss | 12 kW |
| Schleifscheibe Diamant | 350 x 40 x 127 mm |
| Rundtisch | |
| Durchmesser | 700 mm |
| Rundlaufgenauigkeit | 2 µm |
| Rundtischdrehzahl | 0-20 min-1 |
| Anzahl Chucks | 108 x 2"; 48 x 3"; 31 x 4"; 20 x 5";14 x 6"; 7 x 8" |
| Feinzustellung | |
| Bereich | 30 mm |
| min. Schritt | 1 µm |
| Gewicht | 3100 kg |
| Platzbedarf | ca. 3000 x 2300 mm |