MPS R400DS Schleifen mit höchster Präzision
Die MPS R400-Serie ist unter Anwendung neuester Erkenntnisse der Schleiftechnologie sowie Ergonomie entwickelt worden. Der vollständig abgeschlossene Schleifbereich garantiert optimale Arbeitsbedingungen für das Bedienungspersonal und vermindert die Gefahr von Verschmutzungen. Entwickelt zum Schleifen von Metallen, Silizium und anderen Halbleiterwerkstoffen mit höchster Präzision.
Einsatzgebiete und Ausstattung
Das Haupteinsatzgebiet ist das Schleifen von Silizium- und GaAs-Wafern im Bereich von 50 bis 150mm Durchmesser.
- Vollständig geschlossener Arbeitsbereich
- Diamantschleifscheiben
- SPS-Steuerung
- In-Prozess Messung
- Minimale TTV-Werte
- Automatische Schleifprogramme
- Vakuum Chucks
- Gleichmäßige Schleifergebniss
Eigenschaften
Der vollständig abgeschlossene Schleifbereich garantiert optimale Arbeitsbedingungen und vermindert die Gefahr von Verschmutzungen.
Die automatische Feinzustellung erfolgt über die elektronische Ansteuerung eines 4-Phasen-Schrittmotors mit stufenlos regelbarer Geschwindigkeit.
Die Messsteuerung (Sonderausstattung) garantiert geringste Maßstreuung durch den Ausgleich von Schleifscheibenverschleiss und thermischen Einflüssen.
Abbildungen
- MPS 2 R400DS
- Vakuumspannung
- TWIN-SPINDEL
Sonderausstattung: MPS 2 R400DS + TWIN-SPINDEL
Das TWIN-SPINDELKonzept bietet viele Vorteile:
- Zwei Schleifscheiben auf einer Spindel
- Schruppen und Schlichten mit einer Spindel
- Hohe Abtragsleistung
- beste Werkstückgeometrie
- Kein Schleifscheibenwechsel zwischen Schruppen und Schlichten
Technische Daten
| Antrieb | 3,7 kW |
| Schleifspindeldrehzahl | 2850 min-1 |
| E-Anschluss | 5,5 kW |
| Präzision | 2 µm |
| Schleifscheibe Diamant | 200 x 34 x 76 mm |
| Rundtisch | 400 mm |
| Rundtischdrehzahl | 0-30 min-1 |
| Vakuum Chucks | 28 x 2" ; 16 x 3"; 8 x 4"; 5 x 5"; 4 x 6" |
| Feinzustellung | |
| Bereich | 170 mm |
| min. Schritt | 1 µm |
| Gewicht | 980 kg |
| Platzbedarf | ca. 1550 x 1130 mm |