Schleifmaschine MPS 3-134 Twin
Feinschleifen von mono- + polykristallinen Silizium-Barren für Solarwafer
Vollautomatische Flachschleifmaschine mit höchster Präzision mit Pendeltisch und zwei Spindeln.
- Vorbereitet für robotergestütztes be- und entladen der Barren.
- Hauptspindel Type Twin für zweistufiges Schleifen der Blockflächen.
- Zusätzliche Schleifspindel zum gleichzeitigen Anfasen der Ingotkanten.
- Anfasen der Kanten und Schleifen der Flächen in einer Aufspannung (kein Umspannen).
- Automatisches Handling (Laden, Entladen, Drehen) des Barrens.
- Automatischer Schleifprozess.
- Die Resultate: Exzellente Flachheit, spiegelähnliche Oberfläche.
- MPS 3-134
- Schleif-Spindeln
- Prinzip der Twin-Spindel
Anforderungen zur Erzielung bester Schleifergebnisse
- Die Maschine nicht in der Nähe von Systemen aufstellen, die Vibrationen verursachen können wie z.B. Hämmer, Pressen, etc.
- Der Unterbau muss eben, stabil und erschütterungsfrei sein.
- Mit Hilfe von Vibrations Blöcken muss die Maschine in alle Richtungen genau justiert werden. Zur genauen Ausrichtung sollte eine Wasserwaage eingesetzt werden.
- Die Temeratur des Wassers zur Spindelkühlung sollte nicht mehr als ±2°C Differenz zur Raumtemeratur besitzen!Das Wasser muss mit > / = 5 µm gefiltert werden.
- Die eingesetzte Druckluft muss völlig frei von Öl-Rückständen sein, gefiltert mit 5 µm und durch Kühltrocknung aufbereitet werden.
- Während des Schleifvorgangs muss die Temperatur zur Erzielung bester Ergebnisse innerhalb einer Bandbreite von ±2°C stabil bleiben. Ein klimatisierter Raum wird hierzu empfohlen.
- Diese Vorgaben können sich durch technische Modifikationen verändern. Bitte lassen Sie sich den aktuellen Stand im Rahmen ihrer Bestellung bestätigen.
Technische Daten
| Block Abmessungen | 125/150/156 mm |
| Block Länge | 190 - 300 mm |
| Flachschleifspindel (Twin spindle) | |
| AC Motor | 7.5 kW |
| Geschwindigkeit | 500 - 4000 min-1 |
| Aufrauhscheibe | D46 |
| Feinschliffscheibe | D15 |
| Kantenschleif Spindel | |
| AC Motor | 2.2 kW |
| Geschwindigkeit | 3915 rpm |
| Schleifscheibe | D15 |
| Block Arritierung | Vacuum |
| Block Bewegung | Vacuum |
| El. Anschluss | 10 kW |
| Wasser | 1.200 l/h (600 l je Spindel) |
| Luft | 15m³/h |
| Gewicht | 1600 kg |
| Standfläche | 3000x 2100 mm |
| Höhe | 2440 mm |
General information
| Grinder Model | MPS 3H-134 TWIN mode (für beste Oberflächen) |
| Material | Silicon blocks |
| Length of block sides square-dia | 125/150/156 mm |
| Ingot length | 190mm or others in total 300 mm |
| Grinding data | |
| Grinding Wheel | D46/D15 TWIN mode |
| Infeed per Cut | D46: max. 300 µm-cut, serveral cuts with 300 µm stock removal possible |
| D15: 50 µm in one cut only possible | |
| Table Spee | 300 mm/min. rough, 200mm/min. fine |
| Grinding Coolant | 600 l/h per spindle; total approx. 1200 l/h |
| Surface roughness Ra | 0,06 µm grinding wheel D15 |
| Rmax or Ry | 0.8 µm |
| Dimension | X.0 +/- 0.4 mm |
| Angle | same as incoming, angle will not be improved |
| Chamfering | e.g. 5 +/- 0.5 mm |
| Chamfering angle | 45 +/- 0.3 Degree |
| Waviness (bow) | <=70 µm |
| Parallelism | <=70 µm |
| Target thickness | X 0.5 µm |
| Grinding wheel wear | |
| D15 > 20.000 bricks | with stock removal of 50µm per side |
| D46 > 15.000 bricks | with stock removal of 250µm per side |
| D91 > 20.000 bricks | with stock removal of 250µm per side |
| D28 > 20.000 bricks | with stock removal of 250µm per side |
| Air | 15 m3/h |
| Electric power | max. 15 KVA |