IFG 320 Planschleifen der Stirnflächen von Ingots
Planschleifen der Stirnflächen von Ingots aus Silizium und anderen Halbleitermaterial bis zu einem Durchmesser von 320 mm und einer Länge von 600 mm.
Werkstückaufnahme
Der Ingot wird mechanisch auf den Werkstückschlitten aufgespannt und kann über drei Achsen exakt ausgerichtet werden.
Feinzustellung
Die Feinzustellung ist mit einen elektronischen 4-Phasen-Schrittmotor und einer Kugelrollspindel realisiert. Alle Parameter sind über die SPS-Steuerung frei programmierbar, es stehen verschiedene Zyklusabläufe und -programme zur Verfügung.
Schleifkopf und Schleifscheibe
Schlitteneinheit mit Präzisionsführungen, Schleifvorschub über Hydraulikzylinder. Antrieb mit Flachriemen, Schleifkopf und Antrieb sind vollständig gekapselt.
Der Arbeitsbereich ist während des Schleifvorgangs gegen Eingriff gesichert.
Diamant-Topfschleifscheibe mit 432 mm Durchmesser.
Abbildungen
- IFG 320
- Schleifkopf (?)
- Detailansicht (?)
Sonderausstattung: MPS 2 R400DS + TWIN-SPINDEL
Das TWIN-SPINDELKonzept bietet viele Vorteile:
- Zwei Schleifscheiben auf einer Spindel
- Schruppen und Schlichten mit einer Spindel
- Hohe Abtragsleistung
- beste Werkstückgeometrie
- Kein Schleifscheibenwechsel zwischen Schruppen und Schlichten
Technische Daten
| Spindelmotor | 4 kW |
| Spindeldrehzahl | max.1500 min-1 |
| Präzision | 1 µm |
| Diamantschleifscheibe | |
| Durchmesser | 432 mm |
| Belagbreite | 10 mm |
| Schleifkopf | |
| Hub | 350 mm |
| Geschwindigkeit | 300 mm/min |
| Ingothalterung | |
| Ingot (ø x l) | 320 x 610 mm |
| Verstellung horiz. | ±10° |
| Verstellung vertikal | ±7° |
| Verstellung quer | 30 mm |
| Hauptschlitten | |
| Weg | 200 mm |
| Geschwindigkeit | 1000 mm/min |
| Zustellung | |
| Weg | 450 mm |
| Genauigkeit | 1 µm |
| Geschwindigkeit | 0-180 mm/min |
| kleinster Schritt | 1 µm |
| Gewicht | 2100 kg |
| Platzbedarf | ca. 3000 x 2000 mm |